1200C három fűtési zónás PECVD rendszer
1200C három fűtési zónás PECVD rendszer

1200C három fűtési zónás PECVD rendszer

Az SK2-CVD-12TPB4 egy csőkemence PECVD rendszerhez, amely 300 W-os vagy 500 W-os RF tápegységből, többcsatornás precíziós áramlási rendszerből, vákuumrendszerből és csőkemencéből áll. Az általánosan használt hőmérséklet 1100 Celsius-fok vagy az alatti, fő jellemzői pedig az alacsony lerakódási hőmérséklet, a gyors sebesség, a jó filmminőség, a kevesebb tűlyuk, és kevésbé hajlamos a repedésre. Ideális eszköz nanohuzalok termesztésére vagy különböző vékonyrétegek CVD módszerrel történő készítésére.
A szálláslekérdezés elküldése
Funkció

 

● Maximális hőmérséklet RT{0}} fok

● Osztott típusú kemence, kinyithatja a kemencét.

● Több mint 2 gázcsatornát képes bevezetni, 10 Pa vákuumfokozattal mechanikus szivattyú és 500 W-os RF tápegység segítségével a jel fokozása érdekében.

● Kiváló minőségű alumínium-oxid kerámiaszálas szigetelőanyagok

● A hőmérséklet-szabályozás pontossága ±1 fok

● Túlmelegedés riasztás funkcióval

● A hűtőventilátor csökkentheti a burkolat hőmérsékletét

 

Modell

SK2-CVD-12TPB4

Méretek: Szabványos fűtési zóna hossza (mm)

440 mm

Méretek: szabványos csőátmérő (mm)

∮60 mm

Max.hőmérséklet

1200 fok, folyamatos üzemi hőmérséklet 1100 fok.

Feszültség (V)

220 1P

Hőelem típus

K

Fűtőelem

HRE ötvözet ellenálláshuzal

Hőmérséklet.Pontosság

±1 fok

Fűtési sebesség

0-30 fok/perc ingyenes beállítás

Kamara anyaga

Fejlett, kiváló minőségű alumínium-oxid mikrokristályos szálas anyag felhasználásával

A kemence szerkezete

Kétrétegű léghűtéses szerkezet, felületi hőmérséklete kevesebb, mint 60 fok

Hőmérséklet szabályozó

Intelligens PID hőmérséklet-szabályozó műszer, 30 programszegmens, SSR vezérlés, PID paraméterek önbeállító funkciója; program hőmérséklet emelés, program hőmegőrzés, program hűtés

500W RF tápegység

Kimeneti teljesítmény: 5-500W ±1 fok

RF frekvencia: 13,56 MHz ±0,005%

Visszavert teljesítmény: 100 W-ig

Egyezés: Automatikus

RF interfész: 50Ω, N-típusú

Hűtés: léghűtés

Tápellátás: AC 208-240V, 50/60HZ

4 gázcsatornás precíziós áramlási rendszer

1. Teljes skálájú áramlási sebesség (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/perc. 10L/perc.

2. Szelep típusa: Solenold szelep.

3. Szelep nyugalmi helyzete: Általában zárva.

4. Nyomáskülönbség: (50-300) kpa

5. Nyomásállóság: 3mpa.

6. Üzemi hőmérséklet: 5-45 fok

7. Anyagok: rozsdamentes acél 316L.

Vákuumos rendszer

5*10-3Pa

KF25 gyorscsatlakozó, rozsdamentes acél harmonika, kézi csappantyús szelep és karima, vákuumszivattyú

Magasabb vákuumrendszerek is felszerelhetők opcionálisan.

image001

ÜDVÖZÖLJÜK OEM/ODM

 

Standard tartozékok

 

Termikus kesztyűk|Tégelyhorog|Hőelem|Csőblokk|Felhasználói kézikönyv |Eszközök|Vákuumszivattyú| Kvarccső |Karima |Tömítőgyűrű |10mm-es gáztömlő |Karimatartó, Gázrendszer, RF teljesítmény.

 

Választható

 

Különféle fűtési zóna az Ön választása szerint;

LCD érintőképernyős vezérlés a választáshoz

RS485/USB port a számítógép csatlakoztatásához.

 

Részletes kép a CVD-PECVD-hez

 

image003
500W RF tápegység
image005
Vákuumos rendszer
image007
4 gázcsatornás precíziós áramlási rendszer

 

Alkalmazás

 

Ezt az eszközt elsősorban nanohuzalok növesztésére vagy különféle vékonyréteg-növekedés készítésére használják CVD módszerrel.

 

Garancia

 

Egy év garancia és egész életen át tartó műszaki támogatás

Különleges tippek:

1. Az olyan fogyóeszközök, mint a fűtőelem, kvarccső, mintatégely stb., nem tartoznak bele a jótállási időbe.

2. A jótállás nem terjed ki a korrozív gázok és savas gázok használatából eredő károkra.

 

Népszerű tags: 1200c három fűtési zóna pecvd rendszer, Kína 1200c három fűtési zóna pecvd rendszer gyártók, beszállítók